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大型平板玻璃,光伏玻璃,low-e玻璃产品的大面积连续式溅射镀膜需求

1)所需设备:CCZK-1850SFL连续式磁控镀膜流水线
  2) 获得膜层:一层或多层金属,合金或金属化合物膜层
  3)涂装流程: 玻璃产品的前处理清洗过程---进片上线台---粗抽室---过渡室---精抽室---缓冲室---镀膜室---后缓冲---精抽室---过渡室---粗抽室---出片下线台---淋漆流水线(如果需要)---包装成品
  4)基本配置:
  1.腔体结构:采用高效的卧式连续磁控镀膜流水线,配备前后粗抽室,前后过渡室,前后精抽室,前后缓冲室,彩镀室。
  2.腔体材质:碳钢
  3.靶材设计:采用新型旋转阴极靶材以及平面阴极靶材。
  4.电源配置:配备大功率中频或直流磁控溅射电源
  5.电气控制:生产线采用PLC全过程控制,配备工业计算机人机交互系统,快速的节拍设计。
  6.人机对话:控制系统能实现人、机对话,及时对生产过程进行必要干预。运行过程有报警提示和故障显示,故障显示能提示操作人员正确的操作和排故。
  7.传动系统:滚轴传动,变频可调
  8.可镀膜玻璃或平板,尺寸可定制
  9. 生产线安采用了先进的插板阀进行腔室隔断,可以实现有效隔断,稳定工艺气体。
  10.生产线采用了均匀进气管结构设计,气流注入均匀平缓;
  11.泵抽系统:扩散泵组或分子泵组+机械泵+罗茨泵
  5)需求配套设施:
  空压机+储气罐+水泵+冷却水塔
  水压流速:0.2Mpa  3m3/h
  气    压:0.4-0.8mpa
  水    温:小于25℃

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